二、碳化硅導(dǎo)軌框架
我單位生產(chǎn)的碳化硅導(dǎo)軌及框架具有耐壓性、不泄露等特點(diǎn),適用于光刻機(jī)及刻蝕機(jī)的等裝備的關(guān)鍵部位。
主要技術(shù)指標(biāo):
表3:導(dǎo)軌框架性能指標(biāo)
圖16 多孔吸盤(pán)面型
四、碳化硅反射鏡
基于碳化硅陶瓷材料的優(yōu)異性能,結(jié)合本單位碳化硅結(jié)構(gòu)件的制備工藝,開(kāi)發(fā)出具有復(fù)雜輕量化結(jié)構(gòu)及面型精度的機(jī)載、車(chē)載碳化硅反射鏡,并將反射鏡制備技術(shù)用于無(wú)人車(chē)自動(dòng)駕駛激光雷達(dá)用碳化硅反射鏡片,為無(wú)人駕駛汽車(chē)自動(dòng)駕駛提供“眼睛”,實(shí)現(xiàn)了碳化硅反射鏡在民用領(lǐng)域的應(yīng)用。
五、其他碳化硅陶瓷部件
除此之外,本單位還生產(chǎn)碳化硅陶瓷手臂,碳化硅陶瓷托盤(pán)等高精密部件,用于IC制造行業(yè)的硅片傳輸及刻蝕機(jī)用晶圓的承載,為IC制造業(yè)提供支撐。
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